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產(chǎn)品中心
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名 稱：四氟化鈦

分子式：TiF4

分子量：123.87

CAS號：7783-63-3

性 狀：

白色吸濕性粉末


關(guān)鍵字：<四氟化鈦>、<氟化物_>、<電子化學品>


用 途：

用于成膜材料及離子注人摻雜。在微電子工業(yè)上用于化學氣體沉積，以制作低電阻、高熔點的互連線等


檢驗報告：

檢驗報告

品名

四氟化鈦

CAS:7783-63-3

性狀

白色吸濕性粉末

化學式

TiF4

純度:

測試項目

測試結(jié)果

含量

≥98.5%

氯化物

≤0.15%

氟硅酸鹽

0.2%

鐵

0.1%

硫酸鹽

0.1%

重金屬

0.1%


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